格格党

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第640章 光刻机工业皇冠上的明珠（第1页）

王所长眉头拧成个疙瘩，嘴里反复念叨着这两个字。

他搞了半辈子电子研究，听说过用车床刻金属的，可这用光来雕刻电路，真真是一头雾水。

“用光来雕刻？”他抬头看了看屋顶吊着的白炽灯，“林委员，光抓不住摸不着的，这咋刻？”

林振笑了笑。其实，要跟六十年代的专家解释好光刻机的底层原理，光靠嘴巴说是行不通的，必须一边画图，一边介绍。

“同志们，跟我来。”

林振领着一群人，直奔749院最大的阶梯会议室。

这屋子平时全院开大会用，椅子都是老式的长条木板凳，人坐上去嘎吱嘎吱直响。

他让耿欣荣过去拉上厚实的深绿帆布窗帘，屋子里立时暗了下来。

接着，他走到讲台前，打开了老式幻灯机。

这是他提前交代耿欣荣备好的。

机器启动，散热风扇发出嗡嗡的底噪。

“咱们大伙儿都见过木匠干活吧。”林振站在光束旁边，嗓音稳当平和，“要在木板上刻一个字，得凑齐三样东西。一块平整的木板，一把锋利的刻刀，还得有一张写好字的字帖盖在上面照着刻，对不对？”

底下的老专家们纷纷点头，王厂长是个直肠子，扯着粗嗓门搭腔：“这是必须的，没字帖照着来，刻出来那就是鬼画符。”

“好，那现在，我们把这个刻字的过程，往小了缩，缩小一百万倍。”林振继续说道，“咱们这块木板是一块光洁如镜的硅片。咱们用的字帖，是一块提前画着复杂电路图的玻璃板，我们管它叫掩膜版。”

王所长脖子伸得老长，紧跟着追问：“那刻刀是啥？”

林振按下幻灯机的换片开关。

一束强光穿过带有几何图案的透明胶片，直挺挺打在白色的幕布上，留下一个被放大、清晰的方块黑影。

“光是咱们手里的刻刀。”林振指着幕布解释。

“准确点说，得是特定波长、纯度极高的光。咱们整个光刻的过程，就跟咱们小时候在村头看皮影戏，或者去照相馆洗底片冲印是一个道理。”

底下的专家们全都屏住呼吸，生怕自己喘气声大了漏掉一个字。

“这第一步，咱们在硅片上涂一层特殊的化学物质，它对光特别敏感，叫光刻胶。”

“第二步，用一束紫外光，穿过画好电路图的掩膜版。”

“第三步最关键。这束光得穿过一组复杂、精度极高的透镜，也就是投影物镜。它把掩膜版上的电路图案按照比例缩小，稳稳当当投射到涂了光刻胶的硅片上。”

林振比划了一个往下按压的动作，“这光刻胶脾气怪，被光照到的地方，起化学反应，变软了。没被光照到的地方，还是硬梆梆的。”

“到了第四步，咱们用特殊的药水去洗硅片。变软的光刻胶一洗就掉，底下的硅片就露出来了。没被光照到的硬胶还留着。这么一来一回，电路图案就印在硅片上了。”

“最后一道工序，顺着这些图案去做刻蚀和离子注入。成千上万的晶体管和导线，就永远留在硅片上了。”

林振这番深入浅出的讲解，句句都是大实话，把复杂的微观制造讲得明明白白。

阶梯会议室里十分安静。

只剩下幻灯机嗡嗡转动的声音。

在比头发丝还要细上几百倍的尺度上，用光去建起一座装着无数个晶体管的微观城市。

这种堪称鬼斧神工的技法，直接震碎了在场所有人的认知。

王所长手里的圆珠笔啪嗒一声掉在水磨石地上。

他脑子里终于转过弯来了。这套技术要是真能搞成，电子所几间屋子都装不下的大个头计算机，真能缩小到一个火柴盒大小！

这绝对是直接开天辟地的大杀器！

“林……林总师……”王所长激动得直结巴，眼珠子瞪得溜圆，“您说的这个能印电路的神仙机器是光刻机？”